薄膜生长初期岛形貌转变的模拟研究

编号 zgly0000538824

文献类型 期刊论文

文献题名 薄膜生长初期岛形貌转变的模拟研究

作者 陈丹丹  李林  滕春禹  钟钰  梁焕巢 

作者单位 东北大学理学院 

母体文献 材料导报 

年卷期 2007,21(F11)

页码 89-91

年份 2007 

分类号 O484.1  S791.222 

关键词 蒙特卡罗  岛形貌  沉积速率  绕岛步数 

文摘内容 用Kinetic Monte Carlo(KMC)方法实现了(001)衬底上薄膜生长初始阶段岛形貌的模拟。在模型中考虑了原子沉积、吸附原子扩散和绕岛运动等过程，并考虑了衬底温度、沉积速率、Lennard-Jones(L-J)作用势范围等因素对生长的影响。研究了岛边缘亚稳粒子绕岛运动对岛形貌的影响。结果表明，绕岛运动越强岛形貌越趋于紧致状。模拟中发现：当绕岛能力相同时，随着衬底温度的升高，岛形貌由紧致向枝晶转变。