无线MEMS传感系统在燃气轮机等恶劣环境下的应用

编号 zgly0000850077

文献类型 期刊论文

文献题名 无线MEMS传感系统在燃气轮机等恶劣环境下的应用

作者 尤政  王伟忠  陈硕  阮勇 

作者单位 清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室微纳制造  器件与系统协同创新中心 

母体文献 航空学报 

年卷期 2014(8)

页码 2081-2090

年份 2014 

关键词 燃气轮机  无线MEMS传感系统  实时监测  恶劣环境  高温  高压 

文摘内容 燃气轮机是应用于航空、能源、海陆交通等诸多领域的重大核心装备之一。对燃气轮机工作过程中各项环境参数(如温度、压力等)的实时监测,可进一步完善和优化燃气轮机结构、提高效率、减少排放和降低维护费用。新近发展起来的基于微机电系统(MEMS)技术的传感系统在高温、高压等恶劣环境下具有无可比拟的应用优势,特别是在恶劣工作条件下以燃气轮机为代表的大型机电设备的各项环境参数监测中,应用潜力巨大。本文对燃气轮机等恶劣环境下的传感技术、无线信号传输技术及SiC无线MEMS传感系统实现方案进行了综合介绍、评述和讨论,并对无线MEMS传感系统在燃气轮机等恶劣环境下的应用进行了展望。